干式螺桿真空泵是干式泵家族中的一員，出現(xiàn)于上世紀90年代初。由于它具有抽速范圍寬廣、結(jié)構(gòu)簡單緊湊等優(yōu)點，在光伏產(chǎn)業(yè)、化工等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

所謂干式真空泵，在泵的抽氣流道中，不能使用任何油類和液體，排氣口與大氣相通，能直接連續(xù)向大氣中排氣的泵。

工作原理

干式螺桿真空泵是由一對同步齒輪帶動逆向旋轉(zhuǎn)的螺桿，在螺桿與螺桿之間、螺桿與泵腔之間均有一定的間隙。于是螺桿在旋轉(zhuǎn)過程中就將被抽氣體從進氣口吸入并排出到排氣口。

干式螺桿真空泵的特點

1、由于采用變螺距結(jié)構(gòu)，比等螺距螺桿可節(jié)省30%能耗，排氣溫度較低；

2、具有強制輸氣的特點，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響。

3、干式螺桿真空泵零部件少，運轉(zhuǎn)可靠且壽命長，操作維護方便；

4、由于干式螺桿真空泵轉(zhuǎn)子齒面間留有微小間隙，因而可抽除腐蝕性、有毒、含有粉塵等多種氣體，微小顆粒不容易堆積。

5、干式螺桿真空泵沒有不平衡的慣性力，機器可平穩(wěn)地高速運行，噪聲低。

螺桿真空泵的涂層

由于干式真空泵極大多數(shù)是用于抽除腐蝕性或危險性氣體，為了防止泵腔和螺桿被腐蝕或生銹并延長泵的使用壽命，根據(jù)不同的應(yīng)用可選擇下列不同的涂層：

1.PTFE (聚四氟乙烯)涂層：耐化學性能好，但涂層壽命較短，熔點低于300℃且耐磨性較差。

2.NIFA涂層：對所有的化學物質(zhì)均具有良好的耐腐蝕性，耐機械劃傷的性能好；

3.NIFLON涂層：良好的耐磨性，對基材具有良好的結(jié)合力，對極大多數(shù)化學物質(zhì)具有良好的耐蝕性，耐機械劃傷。

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