干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層，提高了泵的耐腐蝕和耐磨度，其使用壽命也相應(yīng)增長。它是傳統(tǒng)真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，未來具有極大的市場前景。干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品，主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過程 , 真空度極高，可適應(yīng)惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力，特別適 宜于 潔凈環(huán)境，且易做防腐處理，特別適用于電 子，化工，生物醫(yī)藥，金屬加工，食品加工等領(lǐng)域。以下是干式螺桿真空泵的具體應(yīng)用領(lǐng)域：

1.冶金

從回火、退火到鋼液脫氣，從表面處理到熔煉、精煉、鑄造和電子束焊接， 為所有冶金應(yīng)用帶來理想的真空性能、極佳的可靠性、易集成性和低擁有成本。

2.LED 制造

對于這些要求標(biāo)準(zhǔn)化真空泵組的多步驟真空工藝， 干式螺桿真空泵提供一致的良好性能、長維護(hù)間隔、低擁有成本和全面的遠(yuǎn)程控制集成能力。

3.鍍膜

玻璃、精密光學(xué)儀器、聚脂材料、反射式組件等所用的鍍膜系統(tǒng)都要求可靠的真空環(huán)境，包括真空泵的高性能以及低擁有成本，而這正是干式螺桿真空泵所能提供的。

4.太陽能

干式螺桿真空泵已經(jīng)在太陽能行業(yè)中得到廣泛使用，在硅拉晶工藝腔中真空可靠一致，在 PV 層壓系統(tǒng)中性能穩(wěn)定。

5.干燥

無論是高壓變壓器組件、氣體管道、鋰電池制造用原件還是冷凍干燥產(chǎn)品，采用干式螺桿真空泵進(jìn)行的真空干燥，可確保良好的干燥效果，即便是在極端水蒸氣負(fù)荷下也是如此。

6.真空包裝

噪音低、尺寸小和擁有成本低是干式螺桿真空泵為包裝、實驗室和中央真空系統(tǒng)等中等規(guī)模真空系統(tǒng)帶來的主要優(yōu)點。

7.等離子工藝

以超強(qiáng)的耐工藝污染能力和高真空下良好的抽速應(yīng)對高除氣率和低真空要求。干式螺桿真空泵在真空等離子工藝中表現(xiàn)出色。

8.真空室抽真空

抽氣速率高、節(jié)拍快和高極限真空性能使 干式螺桿真空泵成為需要快速抽空的真空鎖室和各類型真空模擬應(yīng)用的理想真空泵。

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